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1. 什么是质量流量计？什么是质量流量控制器？
质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM）, 是一种测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）, 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
日本小岛KOFLOC质量流量控制器-数字式
DF250C系列是DF200C系列的大流量产品，同阳也采用了全新传感器
全新控制阀，新的PID算法，从而在控制精度、响应速度大大
得到了提升，通讯方面DF200采用RJ45接口，使用普通网线既可串联99台
DF200C，大大节省了布线的工作，上市以来得到各个行业客户的认可
流量范围从10SCCM-500SLM，可以满足大部分客户的需求
日本小岛KOFLOC质量流量控制器-数字式
性能参数
| DF250C系列质量流量控制器-数字式 | |||||
| 量程(N2) | 10SCCM-10SLM | 20-50SLM | 100-150SLM | 200-300SLM | 400-500SLM |
| 气体 | 非腐蚀气体 和部分腐蚀气体 | ||||
| 精度 | ±1.0%FS | ±2.0%FS | |||
| 重复性 | ±0.25%FS | ±0.5%FS | |||
| 有效范围 | 2- | 5- | |||
| 响应时间 | 1秒以内 | 1.5秒以内 | 2秒以内 | ||
| 耐压 | 1.0Mpa | ||||
| 进口大压力 | 0.5Mpa | ||||
| 工作压差 | 0.05-0.35Mpa 根据流量不同，需要压差不同 | ||||
| 泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 | 1*10-7pa·m³/s以下 | |||
| 温度范围 | 5~50℃ | ||||
| 精度保证温度 | 15~35℃ | ||||
| 保存温度 | -10~60℃ | ||||
| 湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) | ||||
| 材质 | 本体SUS316、SUS316L | ||||
| 密封圈VITON，选配NBR或FKM | |||||
| 电气接口 | DB9 | ||||
| 通讯接口 | RJ45 和 圆芯4芯 | ||||
| 模拟信号 | 0-5V输入/输出 | ||||
| 供电 | +24VDC(±10%)350mA；±15VDC(±10%)350mA | ||||
| 管路连接 | 标配1/4F9、1/2SW | ||||
| 选配1/4UJR、3/4SW | |||||
| 重量 | 约850-3500g | ||||
电气连接
DB9针脚定义：
| 针脚/颜色 | 定义 |
| 1针脚/棕色 | 阀门全开/全闭 |
| 2针脚/白色 | 0-5V输出 |
| 3针脚/红色 | +15VDC 或+24VDC |
| 4针脚/黑色 | 电源COM 或 空 |
| 5针脚/黄色 | -15VDC 或 电源地 |
| 6针脚/灰色 | 0-5V输入 |
| 7针脚/绿色 | 输出COM |
| 8针脚/兰色 | 输入COM |
| 9针脚/紫色 | 阀门电源输出 |
RJ45针脚定义：150SLM以下(通讯用)
| 针脚 | 定义 |
| 1针脚 | 485COM |
| 2针脚 | 485COM |
| 3针脚 | 空 |
| 4针脚 | 485- |
| 5针脚 | 485+ |
| 6针脚 | 空 |
| 7针脚 | 空 |
| 8针脚 | 空 |
圆形4芯针脚定义：200SLM以上(通讯用)
| 针脚 | 定义 |
| 1针脚 | TR-(RS485) |
| 2针脚 | TR+(RS485) |
| 3针脚 | 485COM |
| 4针脚 | 485COM |
2. 质量流量控制器的原理是什么？
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源,数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。
